前驅(qū)體吹掃瓶
（Precursor Purge Bottle / 也常叫 Bubbler Purge、惰性氣體吹掃瓶、載氣鼓泡瓶）一般用在 CVD / ALD / 半導(dǎo)體外延、氣相沉積設(shè)備里，配合液體前驅(qū)體、易揮發(fā)固體前驅(qū)體源瓶使用，核心作用是：用惰性氣體把管路里殘留的前驅(qū)體蒸汽徹底吹掃干凈，防止冷凝、堵塞、交叉污染。
產(chǎn)品性能
·耐 HF、鹵化物、金屬有機(jī)前驅(qū)體
·超低金屬析出，符合半導(dǎo)體 / 光伏高純要求
·半透明，能直接看氣泡
·耐高溫，可加熱伴熱，防止前驅(qū)體冷凝
·不吸附、不沾液，易清洗再生
·前驅(qū)體吹掃瓶：一般裝惰性溶劑、空白液，或干脆空瓶?jī)H作緩沖 / 鼓泡觀察專(zhuān)門(mén)給吹掃氣路使用，不參與反應(yīng)成膜
適用工藝
·ALD / CVD 氟基前驅(qū)體吹掃
·半導(dǎo)體高純氧化層、氮化物沉積
HF、含氟前驅(qū)體氣路保護(hù)與吹掃
常見(jiàn)規(guī)格（實(shí)驗(yàn)室 / 小量產(chǎn)常用）
·100 mL / 250 mL / 500 mL / 1 L
·接口：1/4" PFA 接頭、卡套、 flare 接頭
·配套：PFA 管路、PFA 閥門(mén)、MFC 質(zhì)量流量計(jì)
各部位按需定制4位/6位/8位