在LED和MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）外延工藝中，石墨基盤和石墨托盤是關(guān)鍵部件。這些石墨制品具有高純度、高導(dǎo)熱性、耐高溫和良好的化學(xué)穩(wěn)定性，能夠顯著提升外延層的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。弘信新材石墨作為國內(nèi)先進(jìn)的石墨解決方案專家，擁有多年的石墨盤加工經(jīng)驗(yàn)。可完全匹配Veeco,AIXTRON,Thomas Swan等設(shè)備。GaN外延石墨托盤、藍(lán)寶石襯底承載盤
產(chǎn)品特性
高純度材料：采用高純石墨制成，自有純化純度高達(dá)99.9%6N以上，確保在高溫環(huán)境下不污染外延層。
高導(dǎo)熱性：優(yōu)異的導(dǎo)熱性能，能夠快速傳導(dǎo)熱量，保證外延層的均勻生長。
耐高溫：可在高達(dá)2200°C的溫度下穩(wěn)定使用，適用于MOCVD和LED外延工藝。
化學(xué)穩(wěn)定性：具有良好的抗腐蝕性，即使在高溫和化學(xué)反應(yīng)環(huán)境中也能保持穩(wěn)定。
定制化服務(wù)：可根據(jù)客戶的具體需求，提供不同尺寸和形狀的石墨基盤和托盤。
應(yīng)用領(lǐng)域
LED外延：用于藍(lán)光、綠光LED芯片的外延生長，提升外延層的質(zhì)量和效率。
MOCVD工藝：作為反應(yīng)腔內(nèi)的關(guān)鍵部件，承載襯底并提供穩(wěn)定的生長環(huán)境。
化合物半導(dǎo)體外延：適用于GaN、SiC等化合物半導(dǎo)體的外延生長。
技術(shù)優(yōu)勢
高精度加工：采用高精度加工技術(shù)，確保基盤和托盤的表面平整度和尺寸精度。
涂層技術(shù)：部分產(chǎn)品表面涂覆碳化硅（SiC）涂層，進(jìn)一步提高耐腐蝕性和使用壽命。
優(yōu)化熱場分布：通過優(yōu)化石墨基盤的設(shè)計(jì)，減少熱應(yīng)力，提升外延層的均勻性和質(zhì)量
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