冷等靜壓法
工藝流程：將混合粉末裝入柔性模具，在室溫下通過高壓（100-300兆帕）壓制成型，隨后在較低溫度下燒結固化。
優點：工藝相對簡單，生產成本較低，適合小批量或定制化生產。
缺點：靶材密度和均勻性稍遜，可能在高功率濺射中表現不夠穩定。
適用場景：中低端電子產品或實驗室研發用靶材。
這兩種方法各有千秋，制造商需要根據具體需求權衡成本與性能。
盡管制備方法看似成熟，但實際操作中仍有不少難題需要攻克：
成分配比的性：氧化錫的摻雜量通常控制在5-10%之間，過高會導致透明度下降，過低則影響導電性。如何在微觀尺度上實現均勻混合，是一個技術挑戰。
靶材密度：低密度靶材在濺射時容易產生顆粒飛濺，導致薄膜出現缺陷。提高密度需要優化壓制和燒結條件，但這往往伴隨著成本的上升。
微觀結構的控制：靶材內部的晶粒大小和分布會影響濺射的穩定性。晶粒過大可能導致濺射不均，而過小則可能降低靶材的機械強度。
熱應力管理：在高溫燒結過程中，靶材可能因熱膨脹不均而產生裂紋，影響成品率。
這些難點要求制造商在設備、工藝和質量控制上投入大量精力。
銦回收具有重要的環保和經濟效益。通過回收廢舊靶材中的銦，可以減少對新資源的開采，降低環境污染，實現資源的可持續利用。此外，回收銦還能穩定市場供應，降低生產成本，促進相關產業的可持續發展。
在智能手機、平板電腦、超清電視的光滑屏幕背后，ITO靶材（氧化銦錫）是賦予其透明導電魔力的核心材料。作為ITO靶材的關鍵成分，銦（In）的穩定供應直接關系到全球萬億級顯示產業的命脈。然而，這種稀散金屬的地緣分布不均（中國儲量占全球70%以上）和原生礦產的有限性，使得銦的回收再利用不再是環保課題，更成為保障產業、實現供應鏈韌性的“閉環”革命。
