粉末冶金法:通過將銦粉末在高溫下壓制和燒結成型,可有效控制雜質含量,能制造出形狀復雜的靶材,制得的靶材具有較高的致密度和均勻性。
熔煉法:將銦材料加熱至熔點以上,使其成為液態,然后通過鑄模或其他成型工藝制造靶材,該方法簡單快捷,但控制純度和均勻性相對較難。
先進封裝技術
應用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實現芯片與基板的電氣連接和熱傳導。
特點:低熔點(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
. 光通信器件
應用:在光纖連接器、光調制器中作為鍍膜材料,提升光學元件的信號傳輸效率和穩定性。
場景:數據中心高速光模塊、5G 前傳網絡的光器件制造。
真空系統維護
腔體清潔:每次濺射后及時清理腔體內壁及基片臺的銦沉積層(銦延展性強,易粘附在腔體表面,長期積累可能導致短路或影響真空度)。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭,或用軟質刮刀輕輕刮除(避免損傷腔體涂層)。
真空泵保養:定期更換真空泵油(因銦蒸氣可能污染泵油,建議每 200 小時檢查一次),防止油液粘度升高影響抽氣效率。

