主流回收工藝分類 當前ITO靶材回收主要圍繞銦元素提取展開，主要分為物理法、化學法和聯合工藝三類： 熔煉過濾法（物理法） 通過高溫熔煉結合篩網過濾實現銦與其他金屬的分離。具體流程包括： 廢銦塊在625℃熔煉爐中熔化，利用鐵/不銹鋼篩網（30-40目）截留固態雜質鐵、鋁。 熔融銦通過重力滴落收集，殘留物可二次熔煉提升回收率至72%。 該方法具有設備簡單（圖1）、周期短（單次處理≤60分鐘）的優勢，適用于含銦量70%-90%的廢靶材。但需控溫（±5℃），否則雜質金屬可能熔化導致純度下降至95%以下。
火法-濕法聯合工藝 結合兩種工藝優勢提升效率： 廢靶材先經回轉窯1200℃揮發富集，銦含量從0.1%提升至0.5%。 富銦煙塵通過酸浸-萃取-電解流程精煉，整體回收率從傳統工藝的54%提升至85%。 該方案投資成本較單一濕法降低30%，但需配套煙氣凈化系統防止銦揮發損失。 韶關運田金屬總結：隨著光伏和顯示面板產業擴張，2025年中國ITO靶材回收市場規模預計突破50億元。物理法因成本優勢（處理成本2000元/噸）在中小型企業普及，而大型企業更傾向聯合工藝（綜合回收率>90%）。 未來發展方向將聚焦：短流程設計（工序減少40%）、智能化控制系統（能耗降低25%）、以及銦錫同步回收技術的突破。
多種類回收技術如濕法冶金、火法冶金和物理分離法，提供了靈活的回收方式以適應不同的廢物類型和規模需求。濕法冶金回收中，酸浸法通過使用鹽酸或硫酸來溶解ITO廢料，使得銦以In3?的形式進入溶液。隨后，可以利用溶劑萃取、置換反應（例如，使用鋅粉進行置換）或電解法來進一步回收銦。生物浸出法利用特定的微生物，如硫氧化，來選擇性溶解銦。雖然這種方法環保，但目前其效率相對較低，仍處在研究階段。火法冶金回收中，高溫熔煉將含銦廢料與還原劑（例如焦炭）一同進行高溫熔煉。在熔煉過程中，銦會富集在煙塵或熔渣中，隨后需要進一步的二次處理來進行提純。這種方法適用于大規模的回收操作，但能耗相對較高。
ITO靶材回收現狀 隨著科技的飛速發展，ITO靶材的需求量持續增長。然而，ITO靶材的生產過程中需要消耗大量的銦資源，而銦是一種稀有的有色金屬，全球儲量有限。因此，ITO靶材的回收再利用不僅有助于節約資源，還能減少環境污染，實現可持續發展。 目前，市場上已有不少專業的ITO靶材回收企業，他們通過先進的回收技術和設備，將廢舊ITO靶材中的銦、錫等元素進行有效分離和提純，再加工成新的靶材產品，實現了資源的循環利用。