通過微雕技術將光路刻寫于硅基芯片之上,取代光纖陀螺儀中的部分元器件,使得光芯片集成光學陀螺儀既具有光纖陀螺儀的高性能,還具有MEMS陀螺儀的低成本。



SIN-Ⅰ-FOG-400光子陀螺儀
2025-07-01 17:00 1048次瀏覽通過微雕技術將光路刻寫于硅基芯片之上,取代光纖陀螺儀中的部分元器件,使得光芯片集成光學陀螺儀既具有光纖陀螺儀的高性能,還具有MEMS陀螺儀的低成本。



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