FT1000SA系列MEMS三軸電容加速度傳感器
一、傳感器特點：
FT1000SA三軸MEMS三軸電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號限制電路。設計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術。具有高可靠性和高封裝堅固性。
本產品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器系統、地震監控、傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統中。
二、產品性能
靈敏度（20±5℃） X Y Z:～40-20mv/g
測量范圍（峰值）50~100 g
橫向靈敏度 ≤1 ％
頻率響應 （±5%）DC ～12000 Hz
安裝諧振頻率 25,000 Hz
頻譜噪聲 25 μg/√Hz
工作溫度范圍 -40～+120 ℃
極性 正向
溫度靈敏度穩定性 5%
磁靈敏度 2 g/T
線性度為滿度范圍 ±0.1%
安裝 M5螺釘/安裝座/磁座
敏感材料 MEAS芯片
殼體材料 鈦合金
重量 13g
輸出方式 九芯插頭/5線制
供電電壓 DC7-12V
配套件
傳感器合格證 標定參數、頻響曲線
M5螺栓/安裝座 一套
9芯/（2 米） 1根
FT1000SA系列MEMS電容三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結構。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結構，并提供一個克服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊相連的中央板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結構的偏轉，從而產生電壓輸出信號。