氯化提純爐又稱氯化脫氣，其基本原理是利用氯化劑和高溫條件，使石英砂中的雜質與氯化劑發生反應，轉變為氣態或凝聚態的氯化物，從而去除雜質。
在一定溫度范圍內，隨著溫度的升高，雜質與氯化氫的反應速率加快，提純效果增強。然而，過高的溫度可能導致石英砂中的晶體結構發生變化，影響其物理化學性質。因此，適宜的溫度范圍需要根據實際進行調整。
臥式氯化提純爐操作簡單，提純效果好，能夠有效地去除多種類型的雜質。其次，該工藝適用范圍廣，可用于不同類型的石英砂提純，滿足了不同領域的需求。此外，該工藝的經濟性較好，可實現規?；B續生產。
