氫氣還原爐主要用于電力電子器件、熱敏電阻、可控硅模塊、陶瓷金屬化等在氫氣氣氛保護(hù)下進(jìn)行還原、退火、合金等工藝，也可以進(jìn)行氧化工藝。
技術(shù)指標(biāo)：
工作溫度：200—1300 ℃
加熱元件：康泰爾絲
保溫材料：高純纖維制品
爐管材料：石英管、剛玉管
控制方式：PlD控制，參數(shù)自整定
加熱區(qū)：根據(jù)工藝要求
報(bào)警保護(hù)：超溫、水壓、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)
控制精度：±1℃
控制氣氛：根據(jù)工藝要求
出口工件溫度：≤65℃