LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè)，對圓片及殘片進(jìn)行合金、退火、擴(kuò)散、氧化等工藝。 主要性能指標(biāo)：
外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)，水平爐管
工作溫度：200℃—1100℃
恒溫區(qū)長度：≥600mm
硅片規(guī)格：適用于2—6英寸硅片以及碎片
恒溫區(qū)精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi))
單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內(nèi))
溫度過沖平衡：載料進(jìn)爐，溫度平衡到工藝時間，低于10分鐘
工藝氣體及控制：氮氣、氧氣，MFC或浮子流量計控制
氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PaM3/S
送料機(jī)構(gòu)：懸臂石英桿載料，手動
報警系統(tǒng)：工藝氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
控制方式：工控機(jī)總程控制、觸摸屏控制