高低溫真空探針臺
真空探針臺可實現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測量，真空腔一體成型，具有設(shè)計合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機械精度高等特點；根據(jù)測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件，溫度可達到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-190℃，；真空系統(tǒng)可選機械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。
高低溫真空探針臺應(yīng)用：
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
高低溫真空探針臺參數(shù)
真空腔體
腔體材質(zhì)
304不銹鋼
上蓋開啟
鉸鏈側(cè)開
加熱臺材質(zhì)
304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸
φ160x90mm
觀察窗尺寸
Φ70mm
加熱臺尺寸
φ60mm
觀察窗熱臺間距
75mm
加熱臺溫度
﹣190~400℃
加熱臺溫控誤差
±1℃
真空度
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓
≤0.1MPa
真空抽氣口
KF25真空法蘭
氣體進氣口
3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
電學(xué)性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
探針數(shù)量
4探針
探針材質(zhì)
鎢針
探針尖
10μm
探針移動平臺
X軸移動行程
30mm ±15mm
X軸控制精度
≤0.01mm
Y軸移動行程
13mm ±12.5mm
Y軸控制精度
≤0.01mm
Z軸移動行程
13mm ±12.5mm
Z軸控制精度
≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別
物鏡
物鏡倍數(shù)
0.7-4.5倍
工作間距
90mm
相機
sony 高清
像素
1920※1080像素
圖像接口
VGA
LED可調(diào)光源
有
顯示屏
8寸
放大倍數(shù)
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm