氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用普瑞公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。
氪分析用氦離子色譜儀參考：GB/T 5829-2006氪氣項(xiàng)目
指標(biāo)
高純氪
純氪
一等品
合格品
氪氣（Kr）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2
≥
99.999
99.995
99.99
氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-6
≤
2
8
20
氧（O2）+氬（Ar）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
≤
1.5
5
5
氫（H2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
≤
0.5
1
2
一氧化碳（CO）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
≤
0.3
0.4
1
二氧化碳（CO2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
≤
0.4
0.8
1
甲烷（CH4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
≤
0.3
0.8
1
水分（H2O）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
≤
2
3
5
氙氣（Xe）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
≤
2
20
50
氟化物（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
≤
1
10
15