問：1.質量流量控制器，為什么以SCCM和SLM為單位？
答：從測量原理講，熱式質量流量計是通過利用氣體的比熱與密度，采用毛細管溫差量熱法進行測量，流量控制器測量的就是質量流量，但顯示出的數值是通用的標況（101325 Pa; 0℃）體積流量。由于一般氣體的密度都指標況下的密度，因此直接用體積乘以密度就可以得到所通過氣體的質量。SCCM 與 SLM 為體積流量的行業標準單位，代表標況下的體積流量。SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分鐘標準升。SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分鐘標準毫升。
問：2.流量控制器對使用條件和環境有什么要求？
答：通常情況是環境溫度，流量規格，壓力根據產品的型號不同也有差異。
問：3.內漏與外漏區別是什么？
答：內漏是指氣體整個氣路內部泄漏，主要是電磁調節閥關不死造成的；外漏是管路中氣體漏到氣路外部，主要是接頭密封不嚴造成的。
問:4.設定點精度與滿量程精度的區別是什么？
答:設定點精度是相對于設定點本點的精度，滿量程精度是相對于滿量程流量的精度。舉例：量程為 100SCCM 的流量控制器，當設定 50SCCM 時，其設定點精度為±0.5SCCM，即 50×（±1%）=±0.5SCCM；滿量程精度為 ±1SCCM，即100SCCM×（±1%）=±1SCCM。
問:5.什么是產品響應時間？
答:當流量設定點發生變化時，流量控制器的流量穩定達到流量設定點的一定范圍內的短時間。響應時間又分為氣特性響應時間和電特性響應時間，氣特性響應時間是指實際流量達到設定值所需的時間，電特性響應時間是指流量控制器的輸出信號達到設定值所需時間，一般來說氣特性響應要快于電特性響應。
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用途
1.半導體制造行業中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設備
3.特種材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統
6.泄漏探測系統
7.環境檢測與分析設備
8.分析儀器的氣體流量計量與控制
9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所