微電容申通道叉指電低溫探針臺(tái)：一體式不銹鋼腔體，手動(dòng)調(diào)節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置
KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺(tái)，結(jié)構(gòu)小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實(shí)驗(yàn)的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺(tái)采用分體結(jié)構(gòu)，使得探針部分能從整個(gè)探針臺(tái)系統(tǒng)中獨(dú)立出來，可以應(yīng)用于輻照實(shí)驗(yàn)中，該探針臺(tái)也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。
微電容申通道叉指電低溫探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)：
真空腔體
類型
高溫型室溫到350℃
高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)
304不銹鋼 6061鋁合金 可選
腔體內(nèi)尺寸
127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔體重量
不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸
Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口
6mm快擰 或 6mm快插
腔體冷卻方式
腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓
≤0.05MPa
腔體真空度
機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì)
不銹鋼 銀銅合金 純銀塊
銀銅合金 純銀塊
樣品臺(tái)尺寸
26x26mm
樣品臺(tái)加熱方式
電阻加熱
電阻加熱 液氮制冷
樣品臺(tái)-視窗 距離
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺(tái)測溫傳感器
PT100型熱電阻
樣品臺(tái)溫度
室溫到400℃
室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺(tái)測溫誤差
±0.5℃
樣品臺(tái)升溫速率
高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示
7寸人機(jī)界面
溫控類型
標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率
0.1℃
溫控精度
±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類型
PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出
直流線性電源加熱
直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能
溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸
32cmX170cmX380cm
溫控器重量
約5.6KG
探針
電信號(hào)接頭
配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
電學(xué)性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量
4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì)
鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選）
探針尖
10μm
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程
20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）
X軸控制精度
≥500μm
R軸移動(dòng)行程
120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度
≥500μm
Z軸移動(dòng)行程
2mm ±1mm
Z軸控制精度
≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）