2升腔體等離子清洗機(jī)表面活化處理KT-S2DQX
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動狀態(tài)的電子；處于狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面．以達(dá)到清洗目的．
2升腔體等離子清洗機(jī)表面活化處理KT-S2DQX
供電電源
AC220V（AC110V可選)
工作電流
整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率
150W
射頻頻率
13.56MHz
頻率偏移量
＜0.2MHz
特性阻抗
50歐姆，手動匹配
耦合方式
電容耦合
真空度
≤100Pa
腔體材質(zhì)
高純石英
腔體容積
2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)
觀察窗內(nèi)徑
Φ65
氣體流量
10—100ml/min（其他量程可選）
過程控制
過程手動控制
清洗時間
手動開關(guān)
開蓋方式
鉸鏈側(cè)開式法蘭
外形尺寸
400x380x360mm
重量
23Kg
真空室溫度
小于65°C
冷卻方式
強(qiáng)制風(fēng)冷
標(biāo)配
KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網(wǎng)匣1個，電源線一根，說明書一本。