小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD
是一款小型多功能鍍膜儀，額定1800度高溫，自動(dòng)樣品擋板，靶臺(tái)旋轉(zhuǎn)，觸摸屏多段控制，工藝儲(chǔ)存等功能。
正空蒸發(fā)鍍膜包括以下基本過程：（1）加熱蒸發(fā)過程：包括由凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀嗟倪^程，每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。（2）氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間運(yùn)輸，即原子或分子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。
（3）蒸發(fā)原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發(fā)，凝聚，成核，核生長，形成連續(xù)的膜。由于基板溫度遠(yuǎn)
低于基板溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源溫度，因此，氣態(tài)分子在基片表面將發(fā)生直接由氣態(tài)到固態(tài)的相轉(zhuǎn)變過程。
技術(shù)參數(shù)：
控制方式
7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
加熱方式
數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率
≤1200W
輸出電壓電流
電壓≤12V 電流≤120A
真空度
機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa
擋板類型
電控
真空腔室
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺(tái)
可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速
8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離
70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)
≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型
鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩
預(yù)留真空接口
KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
可選配擴(kuò)展
機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）
數(shù)顯真空計(jì)（測量范圍大氣壓到0.1Pa）
分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）