質量流量計智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調節(jié)不同時間不同流量氣體，操控簡單，
CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
? 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間快≤ 0.5sec。
? CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩(wěn)定性和準確性。
質量流量計智能氣體配比器
產品型號
KT-PCS4Z
KT-C4ZS
氣體通道
4進1出
4進1出
可根據(jù)需求定制
產品類型
高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制
可選量程
20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選)
產品精度
高精度型±1％F.S
普通型±1％F.S
重復精度
高精度型±0.2% F.S
普通型±0.2% F.S
線性
高精度型±0.5% F.S.
普通型±1% F.S.
響應時間
高精度型≤2sec
普通型≤4sec
工作溫度范圍
(5~45)°C
供電電源
~85-265VAC 50/60Hz
功耗
40W
進氣口壓
≤0.6MPa
連接管道
316不銹鋼管道
截止閥類型
電磁閥
單向閥開啟壓力
0.02Mpa
壓力顯示量程
0-0.6Mpa
控制方式
7寸觸摸屏智能調節(jié)
時間設定
0-32000分鐘
清洗功能
一鍵清洗
程序控制
5段可編程序(時間-流量隨意設定值)
壓力顯示
有（出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路）
氣體混合罐
有（內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）
氣體加熱
無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調）
流量累計
有（累計當前運行總流量）
可選進出氣口接頭形式
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
抗電磁干擾
有
外形尺寸
550x380x400mm
重量
18KG～20KG