干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的 左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個(gè)空間、形成 多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，
無壓縮，只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)才對(duì) 氣體有壓縮的作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比，各部間隙 和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。
在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精 度和工作環(huán)境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。
氣鎮(zhèn)閥裝置的安裝: 防止強(qiáng)腐蝕性氣體的凝結(jié) 降低易爆氣體的分壓力 · 齒輪油冷卻水套: 保持較低的油溫。 防止因齒輪油高溫高壓產(chǎn)生漏油現(xiàn)象。 防止因高溫帶來的齒輪油性能降低。
可靠的密封結(jié)構(gòu) : 唇形密封和機(jī)械密封加上氣體密封，形成三重密封結(jié)構(gòu)。安裝專為干式真空泵設(shè)計(jì)的高性能機(jī)械密封。
優(yōu)異的適當(dāng)加壓的氣體密封裝置，進(jìn) 一步提高了齒輪油和被抽流程氣體之間的密封性。