干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的 左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個空間、形成 多個級，氣體在相等的各個槽內進行傳輸運動，
無壓縮，只有螺桿末端的螺旋結構才對 氣體有壓縮的作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比，各部間隙 和泵轉速對泵的性能有很大影響。
在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精 度和工作環境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。
氣鎮閥裝置的安裝: 防止強腐蝕性氣體的凝結 降低易爆氣體的分壓力 · 齒輪油冷卻水套: 保持較低的油溫。 防止因齒輪油高溫高壓產生漏油現象。 防止因高溫帶來的齒輪油性能降低。
可靠的密封結構 : 唇形密封和機械密封加上氣體密封，形成三重密封結構。安裝專為干式真空泵設計的高性能機械密封。
優異的適當加壓的氣體密封裝置，進 一步提高了齒輪油和被抽流程氣體之間的密封性。
干式螺桿真空泵產品特點
· 極限真空 : 理想的間隙設計和連續的壓縮方式，
單泵就可達到 0.0075torr（0.01 hpa）的極限真空。
· 耐腐蝕 : 使用有耐腐蝕的性涂層材料。
通過氣鎮閥裝置降低腐蝕性氣體的分壓力，
可防止腐蝕性氣體凝結在泵腔內，進一步提高耐腐蝕能力。