催化燃燒設備是用來處理廢氣的一種設備。該設備主要由：燃燒室、催化反應設備、熱交換裝置、熱回收系統和煙氣排放設備等部分構成。該設備是需要借助催化劑將有 機廢氣在較低的起燃溫度下進行無焰燃燒，工作原理和流程分為以下三種。
一、預熱式
這種屬于比較基本的工藝流程，催化劑主要原理：有 機廢氣的溫度在100℃以下并且濃度較低的情況下，熱量一般是不能自給的，因此在進入反應器之前，需要在預熱室內對其進行加熱和升溫。一般所采用的預熱方式主要有：煤氣或電加熱，這二種方式可以將廢氣升溫到催化反應所需要的起燃溫度，從而達到燃燒氧化分解目的，燃燒氧化后的氣體在熱交換器內和沒有處理的廢氣進行熱交換，從而回收部分熱量。
二、吸附
這種方式主要用來處理低濃度、低溫度、大流量的有 機廢氣。這種廢氣采用催化燃燒來進行處理時需要消耗掉大量的燃料，通常從處理節約燃料角度來考慮，可以采用吸附的方式將廢氣吸附到吸附劑。吸附后進行濃縮，再通過熱空氣吹掃，使其脫附變成濃度較高的氣體后再進行燃燒分 解，這種方式也是不需要額外的補充熱量可以正常的運行。
三、自身熱平衡
有機廢氣溫度比較高，在通常情況下，需要在催化燃燒設備的燃燒室中，用電加熱器起燃，再由交換器進行回收部分凈化過的氣體所產生的熱量。這種工藝的好處是在正常操作下可以維持熱平衡，不需要額外的補充熱量。