為空氣的100倍。六氟化硫的熔點為－50.8℃，可作為－45－0℃溫度范圍內的特殊制冷劑，又因其耐熱性好，是一種穩定的高溫熱載體。六氟化硫因上述及其它優良特性，近年來被廣泛用于電力、電子、電氣行業和激光、醫療、氣象、制冷、消防、化工、軍事、宇航、有色冶金、物理研究等。
高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。
在金屬冶煉方面，氧、氬吹煉是生產優質鋼的重要措施，每煉1t鋼的氬氣消耗量為1～3m3。此外，對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉，以及電子工業中也需要用氬作保護氣。