1Cr18Ni9Ti優質不銹鋼材質，氬弧焊接，上開蓋和前開門結構
機械泵+分子泵（國產或進口可選）， 極限真空優于8*10-5Pa（設備空載抽真空24h），大氣~8*10-4Pa≦30min；采用電阻電離一體化真空規管讀取真空度；閥門采用電磁驅動擋板閥和手動限流閥
蒸發源采用3組水冷銅電極，蒸發電源采用2KW逆變式電源，配源間防污隔板
可拆卸式，尺寸60*60mm，旋轉：0-20r/min可調，可加熱至300℃，可選水冷或是帶角度調節功能的基片臺
可選配進口或國產膜厚監控儀在線監測和控制蒸發速率、膜厚
PLC+觸摸屏智能控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現一鍵抽停真空
L60cm×W60cm×H96cm 機電一體化機架，預留1個CF35法蘭接口