國內外關于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術的相關研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。
對ITO廢靶材中銦錫進行資源化的關鍵是要綜合考量銦錫的分離率、直收率以及產品和副產品的品質等經濟技術指標。上述幾種主流的從ITO廢靶中綜合回收銦錫的工藝中有一個共性的問題，那就是銦錫的分離不夠徹底，銦的回收率在97%～98%，進一步提升銦收率的空間較小，產生的錫渣或粗錫中含銦較高，作為錫原料或產品出售時會造成銦的損失；所以，探尋一種從ITO廢靶材中充分、徹底分離并回收銦錫的新方法顯得尤為重要。
為了進一步極限化的提高銦錫的收率，進一步簡化工序，提升生產效率，減少環境污染，此次在基于氯化錫具有相對較低沸點的特性的基礎上，設計了“鹽酸浸出—蒸餾分離銦錫—鋅或鋁置換銦—蒸出錫提純制五水氯化錫/蒸出酸回用”的技術方案，并進行了系統的試驗驗證。
中國已經是世界的ITO靶材需求國，在全球的比重將從2016年的40%提高到2019年的49%，則中國對ITO靶材的需求量從2016年的542噸增長到2019年的823噸。