“純水是一種無機化合物，化學式為H2O，純水具有一定結構的液體，雖然純水沒有剛性，但純水比氣態水分子的排列有規則得多。在液態水中，水的分子并不是以單個分子形式存在，而是有若干個分子以氫鍵締合形成水分子簇( H2O)，因此水分子的取向和運動都將受到周圍其他水分子的明顯影響。
純水指的是不含雜質的H2O。從學術角度講，純水又名高純水，是指化學純度的水，其主要應用在生物、 化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用普遍的還是電子工業。例如電力系統所用的純水，要求各雜質含量低達到"微克/升"級。在純水的制作中，水質標準所規定的各項指標應該根據電子(微電子)元器件(或材料)的生產工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術的復雜性和影響產品質量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產的完整的水質標準。隨著電子級水標準的不斷修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制純水工藝的發展創造了條件。
純水也是指經過純水機(RO機)過濾的水。
純水是指水中鹽類(主要是溶于水的強電解質)除去或降低到一定程度的凈水設備。1.0-10.0μS/cm，電阻率(25℃)0.1-1.0×10cm含鹽量為1-5mg/L。
