凈化工程是在一定空間內消除空氣中的顆粒物、有害空氣、等污染物,并將室內溫度、潔凈度、壓力、風速、氣流分布、噪聲、振動、照明、靜電等控制在一定需求范圍內的工程部門。無論外部空調如何變化,凈化工程專用房間均能保持原有的潔凈度、溫度、濕度和壓力。 不同的凈化項目有不同的目的和功能,所以不同的凈化項目有不同的組成部分。但凈化項目主要包括以下幾個部分:
1. 建筑圍護體系:它是簡單的頂部、墻面和地面三部分,也就是說,六面立體的密閉空間。具體來說,包括門窗、裝飾弧等。
2. 電氣系統:照明、電源及弱電,包括凈化燈、插座、電柜、線路、監控、電話等強、弱電系統;
3.風道系統:包括送風、回風、新風、排氣管、末端及控制裝置等;
4. 空調系統:包括冷(熱)水機組(包括水泵、冷卻塔等)(或氣冷式管道機水平,等等),管道,結合凈化空調箱(包括混流部分,主要效率部分、加熱/冷卻區,除濕部分,增壓部分,中間部分效率,靜壓節等);
5. 自動控制系統:包括溫度控制、溫度控制、風量和壓力控制、開啟順序和時間控制等;
6. 給排水系統:供水、排水管道、設施及控制裝置等;
7. 空氣過濾系統:初中過濾器等;
8. 地面清潔:一般采用環氧樹脂進行地面清潔。
9. 其他凈化設備:如臭氧、紫外線燈、風淋室(含貨淋室)、轉換窗、超凈工作臺、互聯鎖等凈化輔助設備。
全球半導體行業穩定向好,中國市場如火如荼也帶動了整個潔凈室產業的發展。綜合來看,三因素決定我國半導體行業的高速發展:
1)國內半導體銷售占比和增速遠高于全球平均水平,半導體市場消費基數維持高位。
2)我國半導體設備支出占比小增速快,設備市場增長空間大。
3)半導體貿易逆差持續維持1,600億美元高位,“進口替代”大勢所趨。
目前很多企業都在建設凈化工程,但編者提醒我們,在凈化工程的設計和施工中,有些細節需要慎重,不能敷衍了事。否則,很可能“千萬里的堤岸就會在蟻巢中崩塌”。在項目結束時,需要投入大量的資金和精力來完成,在驗收時,由于風道不當或人員移動,可能無法達到預期的凈化效果。空調凈化節能
空調凈化是清潔化工行業的一大能源消耗。凈化工程的設計和施工應注意節能措施。設計、系統和分工的區域,空氣供給體積的計算,溫度和相對溫度的測定,測定空氣清潔度水平和變化的頻率,清新的空氣,比空氣管的絕緣,咬的影響形式生產風管漏風率,連接點的影響主要管和支管的氣流阻力,法蘭接頭是否漏氣,等等,而空調箱、風機、冷水機等設備的選擇都與能耗無關,因此在凈化工程中有必要考慮這些細節。
根據氣候條件選擇空調箱
凈化工程中空調箱的選擇應考慮氣候環境。例如,在北方地區冬季低溫和大灰塵含量,凈化項目應該添加新鮮空氣預熱段一般空調機組,并選擇水噴灑空氣處理模式,所以它不僅可以洗空氣灰塵,但也產生熱交換達到所需的溫度和濕度。我國南方地區氣候濕潤,空氣中粉塵濃度低,冬季不需要對新鮮空氣進行預熱。對于空氣過濾和溫濕度調節,選擇初級效果過濾。冰面表面的溫濕度調節也可以加強降溫降溫的過程,然后再通過中間效應過濾和終端過濾或亞過濾。
電子光學凈化工程
1、凈化廠房墻材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,頂板多采用50mm厚的硅巖板其特點為美觀、剛性強。角與角之前的拼接選用圓弧連接宜清潔,潔凈地板要求
2、地坪:可采用2mm/3mm環氧樹脂或是PVC地坪,電子廠房選用防靜電地坪
3、送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4、送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
凈化參數:換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。
壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;
溫度: 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。
濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX

