油霧廢氣處理設備主要是油霧分離器和一些輔助凈化設備， 油霧分離器，又稱為油霧過濾器，油霧控制器，油霧凈化器，油霧回收機、吸霧器等，解決機械加工中存在的油霧、水霧或粉塵等車間環境問題。 按照油霧分離器的工作原理，的產品分為離心式和靜電式兩個大類。
離心式的工作原理為： 當控制器接通電源時，吸霧口產生強大的負壓迫使油霧被定向吸入吸霧器內。油霧微粒在吸霧器內風輪的作用下發生碰撞，微小的顆粒集合成能被控制的較大顆粒，在吸霧材料的阻擋下被攔截下來，通過回流口收集并回收。
靜電式的工作原理為： 根據靜電場二級原理使細小的油霧粒子隨氣流進入一個強大的電場中，帶上正電。當帶點粒子到達凈化器收集盤間的電場時，顆粒受金屬洗盤的吸引而粘附到金屬盤上，從而使得油霧與空氣分離，達到凈化效果。
離心式與靜電式油霧分離器的比較：
離心式油霧分離器適用的范圍比較廣泛，多車間環境的要求不是很高；靜電式的油霧分離器只能用于相對干燥的車間環境，對霧氣非常大的車間，水的導電特性容易使油霧分離器電場短路。
離心式油霧分離器的分離效果不如靜電的精細。靜電式油霧分離器的可分離粒子直徑可小至0.01微米。