實(shí)現(xiàn)潔凈度要求的通風(fēng)措施
潔凈室要達(dá)到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項(xiàng)具體措施 [1] ：
（1） 對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進(jìn)入潔凈室的空氣，進(jìn)行一級過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。
（2） 根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū)；氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。
（3） 有足夠的風(fēng)量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
（4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
（1） 當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。
（2） 減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
（3） 為了防止灰塵的二次飛揚(yáng)，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。
（4） 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。
（5） 工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔，為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設(shè)計(jì)時要考慮高大設(shè)備對氣流組織的影響。
（6） 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
（7） 潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時，宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)，以減少對室內(nèi)的污染。 [2]
潔凈室空氣流量原理
潔凈室通過使用采用層流或湍流氣流原理的HEPA或ULPA過濾器來維持無顆粒空氣。層流或單向氣流系統(tǒng)以恒定流量向下引導(dǎo)過濾空氣。層流氣流系統(tǒng)通常在100％的天花板上使用，以保持恒定的單向流動。層流標(biāo)準(zhǔn)通常在便攜式工作站（LF罩）中說明，并且在ISO-1至ISO-4分類潔凈室中是強(qiáng)制性的。
適當(dāng)?shù)臐崈羰以O(shè)計(jì)包括整個空氣分配系統(tǒng)，包括足夠的下游空氣回收。在垂直流動室中，這意味著在區(qū)域的周邊使用低壁空氣返回。在水平流動應(yīng)用中，它需要在過程的下游邊界使用空氣返回。使用天花板安裝的空氣返回與適當(dāng)?shù)臐崈羰蚁到y(tǒng)設(shè)計(jì)相矛盾。
無塵潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室，潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。