實現潔凈度要求的通風措施
潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施 [1] ：
（1） 對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。
（2） 根據潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區應避免渦流區；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區；氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。
（3） 有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣流流型。
（4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
（1） 當產品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。
（2） 減少渦流，避免把工作區以外的污染物帶入工作區。
（3） 為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。
（4） 工作區的氣流應均勻，流速必須滿足工藝和衛生的要求；潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴散之前便流向回風口。
（5） 工作設備布置時要留有一定的間隔，為送、回風口的布置和氣流的通暢創造條件：氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
（6） 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時，宜將其置于工作區氣流的上風側，以提高室內的空氣潔凈度。
（7） 潔凈室內有通風柜時，宜置于工作區氣流的下風側，以減少對室內的污染。 [2]
潔凈室服裝包括靴子，鞋子，圍裙，胡須套，蓬松帽，工作服，面罩，連衣裙/實驗室外套，禮服，手套和手指套，發網，頭套，袖子和鞋套。使用的潔凈室服裝類型應反映潔凈室和產品規格。低級潔凈室可能只需要特殊的鞋子，鞋底完全光滑，不會跟蹤灰塵或污垢。但是，鞋底不得產生滑倒危險，因為總是優先考慮。進入潔凈室通常需要潔凈室服。10,000級潔凈室可以使用簡單的罩衫，頭套和短靴。對于10級潔凈室，需要小心的長袍穿著程序，并配有拉鏈蓋，靴子，手套和完整的呼吸器外殼。
無塵潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
伍.每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。