產(chǎn)品介紹:
Tropel00為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。00能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測量。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
無接觸和無損傷測量
適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
適用多種類型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面
測量多種不同指標(biāo)：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
完整的分析系統(tǒng)：
三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
可以實(shí)現(xiàn)自動、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測量
超過15年的工業(yè)應(yīng)用，全球幾百臺的裝機(jī)量
技術(shù)參數(shù)：
度：50nm （2.0μ″）
重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
分辨率：5nm （0.2μ″）
可測量工件尺寸：25mm-200mm
動態(tài)測量范圍：>100um
測量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000 / measurement
測量時間：5秒
電源：～220V 50Hz
典型客戶:
國外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，F(xiàn)reiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……
國內(nèi)：塞維，重慶四聯(lián)，中電46所，山東大學(xué)，大連理工大學(xué)，中國科學(xué)院半導(dǎo)體所，中國科學(xué)院物理所，中科晶電，中科鎵英，云南藍(lán)晶，青島嘉星晶電，天科合達(dá)，大慶佳昌……