全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調節樣品高度和傾斜度工作中解放出來，樣品對準是為了保證橢偏儀測量的可重復性和性。已獲得專利的自動樣品對準裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進行地貌圖測量，包括翹曲晶片。
全自動光譜橢偏儀 - 產品特點
全自動樣品校準
高測量速率 < 8秒
消除了全波段范圍內的盲點
可測量透明和吸收基底
高測量精度
具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能
友好的軟件界面，強大數據分析功能
具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能
光譜橢偏儀 - 技術指標
光源：氙燈
光斑直徑：1-3mm
入射角范圍：20°到90°自動控制
波長范圍：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
波長精度：1nm
測量時間: < 8s （取決于測量模式和粗糙度）
入射角度精度：0.01
光譜橢偏儀 - 可選配
CCD線陣列探測元件：200-850nm，350-1000nm
樣品顯微鏡
高穩定性消色差補償器
透射測量架
XY移動樣品臺
光譜橢偏儀 - 典型客戶
美國，歐洲，亞洲及國內太陽能及半導體客戶。