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主流回收工藝分類
當前ITO靶材回收主要圍繞銦元素提取展開，主要分為物理法、化學法和聯合工藝三類：
熔煉過濾法（物理法）
通過高溫熔煉結合篩網過濾實現銦與其他金屬的分離。具體流程包括：
廢銦塊在625℃熔煉爐中熔化，利用鐵/不銹鋼篩網（30-40目）截留固態雜質鐵、鋁。
熔融銦通過重力滴落收集，殘留物可二次熔煉提升回收率至72%。
該方法具有設備簡單（圖1）、周期短（單次處理≤60分鐘）的優勢，適用于含銦量70%-90%的廢靶材。但需控溫（±5℃），否則雜質金屬可能熔化導致純度下降至95%以下。
火法-濕法聯合工藝
結合兩種工藝優勢提升效率：
廢靶材先經回轉窯1200℃揮發富集，銦含量從0.1%提升至0.5%。
富銦煙塵通過酸浸-萃取-電解流程精煉，整體回收率從傳統工藝的54%提升至85%。
該方案投資成本較單一濕法降低30%，但需配套煙氣凈化系統防止銦揮發損失。
韶關運田金屬總結：隨著光伏和顯示面板產業擴張，2025年中國ITO靶材回收市場規模預計突破50億元。物理法因成本優勢（處理成本2000元/噸）在中小型企業普及，而大型企業更傾向聯合工藝（綜合回收率>90%）。
未來發展方向將聚焦：短流程設計（工序減少40%）、智能化控制系統（能耗降低25%）、以及銦錫同步回收技術的突破。
ITO靶材回收流程
ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個步驟：
1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進行收集，并根據其種類、純度等進行分類。
2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續處理。
3. 化學分離：采用化學方法將粉末中的銦、錫等元素進行有效分離。
4. 提純與精煉：對分離出的銦、錫等元素進行提純和精煉，得到高純度的金屬產品。
5. 再加工：將提純后的金屬產品加工成新的靶材或其他產品，實現資源的循環利用。
